久久国产精品高潮一级毛片_无码人妻精品一区二区三区20_国产无码专区亚洲精品视频_久久国产精品视频在热

一、空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計

1、空調(diào)負荷

實際設(shè)計中潔凈室內(nèi)冷負荷的計算一般采用估算的方法，根據(jù)其生產(chǎn)工藝情況、圍護結(jié)構(gòu)、操作人員數(shù)等確定估算指標(biāo)。潔凈室的主生產(chǎn)區(qū)冷負荷估算指標(biāo)為450W/㎡，光刻區(qū)為400W/㎡，其它區(qū)域根據(jù)功能為250W/㎡ - 350W/㎡。設(shè)汁總冷負荷（包含新風(fēng)冷負荷）為3400kW。單位冷負荷指標(biāo)為2500W/m\遠遠大于一般建筑的冷負荷指標(biāo)。這是由于:1.微電子工業(yè)沽凈室的生產(chǎn)設(shè)備發(fā)熱量大，消耗冷量大；2.為補充大量工藝排風(fēng)（排除酸性、堿性、 有機溶劑等氣體），及為維持潔凈室正壓而造成新風(fēng)量大，處理新風(fēng)所需冷量大。以上兩項負荷之和一般占到總冷負荷的80%以上。由于潔凈室處于內(nèi)區(qū)，圍護結(jié)構(gòu)的冷熱負荷影響可以忽略不計。設(shè)計發(fā)熱量大，冬季仍為制冷工況，其室內(nèi)冷負荷與夏季基本相同。潔凈室內(nèi)散濕量較少，故潔凈室室內(nèi)負荷以顯熱負荷（設(shè)備負荷、照明負荷）為主。

2、氣流組織方式

潔凈室內(nèi)的氣流流向為垂直單向流，即空氣由吊頂上的風(fēng)機過濾單元機組（FFU）所帶的髙效過濾器 進行過濾處理達到潔凈要求后送入室內(nèi)，再經(jīng)過地面帶孔高架地板和華夫樓板，通過兩側(cè)回風(fēng)豎井與新風(fēng)機組處理過的新風(fēng)混合后，經(jīng)安裝在豎井與吊頂靜壓箱之間的干式冷盤管冷卻回到吊頂靜壓箱。

雖然風(fēng)機過濾單元機組（FFU）的送風(fēng)模式未必對每個潔凈廠房和生產(chǎn)工藝都最為適合，但近年來它以其本身的優(yōu)越特性正被越來越多的工業(yè)廠房車間廣泛采用。首先，潔凈室內(nèi)壓力高于靜壓箱內(nèi)的壓力，不存在塵粒由靜壓箱滲透到室內(nèi)的可能性，即所謂 “負壓密封”，而其它送風(fēng)模式例如分散式循環(huán)風(fēng)機組、風(fēng)機豎井等必須采用接觸填料密封或液槽刀口密封等較為復(fù)雜的方法來保證潔凈室頂棚的密封性；其次，由于微電子工業(yè)潔凈室工藝的頻繁更新和調(diào)整，可以通過増減局部區(qū)域的風(fēng)機過濾單元機組（FFU）的數(shù)量來改變潔凈度以適應(yīng)生產(chǎn)工藝流程的需要。

如今生產(chǎn)線上大量采用微環(huán)境裝罝，髙效過濾器滿布率降低到30%以下，風(fēng)機過濾單元（FFU）因其布置的靈活性具有更強的競爭力。另外，由于對層高和空間需求較少，降低了建筑成本和施工周期，也很適合用于改建項目。但大量風(fēng)機過濾單元機組安裝在吊頂上所帶來的缺點也是顯而易見的。噪聲和振動對潔凈室的影響不容忽視，設(shè)備和自控成本的增加也必須要考慮。

3、空氣處理

潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)共配有四臺新風(fēng)機組，三用一備，每臺新風(fēng)機組新風(fēng)量為130000m3/h。新風(fēng)全部在屋面上的新風(fēng)小屋采集，接入新風(fēng)機組處理后，再通過風(fēng)管直接送到潔凈室吊頂上的靜壓箱與潔凈室回風(fēng)混合后再送入室內(nèi)。

新風(fēng)量確定主要依據(jù)以下幾個因素：

1） 補充工藝過程上所需的排風(fēng)量，包括一般推風(fēng)、酸性排風(fēng)、堿性排風(fēng)、有機溶劑排風(fēng)、特種氣體排風(fēng)等；

2） 保證沽凈室內(nèi)相對于外界為正壓，以確保室外空氣不會滲人污染潔凈室；

3） 滿足室內(nèi)人員衛(wèi)生要求所需的新風(fēng)量，人均新風(fēng)量不小于40mVh。

設(shè)計新風(fēng)量取補充室內(nèi)排風(fēng)及保持室內(nèi)正壓所需新風(fēng)量之和與人員新風(fēng)量兩項中的最大值。

新風(fēng)機組包含的組段有初效過濾段、中效過濾 段、預(yù)熱段、預(yù)冷段、加粗段、再冷段、再熱段、風(fēng)機段、 預(yù)留段、髙效過濾段和送風(fēng)段等。其中預(yù)冷盤管的供回水溫度為13℃/19℃，再冷和盤管的供回水溫度為5℃/10.6℃，預(yù)熱盤管的供回水溫度90℃/ 60℃，再熱盤管的供回水溫度為90℃/70℃。

冷負荷計算

1）熱濕負荷計算：潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)熱濕負荷的計算與一般空調(diào)房間的熱濕負荷計算基本相同，主要應(yīng)根據(jù)以下所列各項確定。

① 圍護結(jié)構(gòu)的傳熱量、輻射熱量；

② 工藝設(shè)備和化學(xué)反應(yīng)等的散熱量、散濕量；

③ 潔凈室內(nèi)照明散熱量；

④ 作業(yè)人員人體的散熱量、散濕量；

⑤ 物抖的散熱量、散濕量；

⑥ 伴隨各種散濕過程產(chǎn)生的熱量。

上述各項的計算方法、公式、所需數(shù)據(jù)表格等在《空氣調(diào)節(jié)設(shè)計手冊》中的第二章“建筑布置和室內(nèi)負荷計算”中有著詳細的論述，可參考使用。

2）冷負荷估算指標(biāo)：如前所述潔凈室的冷負荷與產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)過程和所選用的生產(chǎn)設(shè)備、潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)、操作人員數(shù)量以及物流數(shù)量等有關(guān)，在進行潔凈室規(guī)劃或方案設(shè)計時其冷負荷可按表5-9的數(shù)據(jù)估算。

潔凈室新風(fēng)系統(tǒng)承擔(dān)所有的室內(nèi)濕負荷，而室內(nèi)顯熱負荷則由干式冷盤管承擔(dān)。室外新風(fēng)須處理到機器露點后送人回風(fēng)夾道與回風(fēng)混合。在夏季高溫高濕的地區(qū).由于室外焓值較大，新風(fēng)機組需進行大焓差處理。如只設(shè)一級冷盤管，那大量的冷量都將被冷凝水帶走。故為了充分利用冷水能量，新風(fēng)機組設(shè)兩級冷盤管。在夏季，室外空氣被供13℃中溫水的第一級預(yù)冷盤管處理到接近飽和狀態(tài)點A，再由供5℃低溫冷水的第二級冷盤管處理到露點B ，最后通過再熱盤管將其加熱到送風(fēng)狀態(tài)點C。而在冬季，室外空氣先通過預(yù)熱盤管加熱到D點后，再由水噴淋加濕到露點B后加熱到送風(fēng)狀態(tài)點C。。水噴淋加濕段位于兩級冷盤管之間，除了加濕外還可起到清潔空氣的作用。在夏季工況下空氣經(jīng)過一級冷盤管處理到A點后已達飽和狀態(tài)，很難再被加濕，故水噴淋對夏季新風(fēng)處理不會產(chǎn)生影晌。本工程潔凈室的維持正壓的換氣次數(shù)為1.5h-1。

在潔凈室裝有壓差傳感器，潔凈室的壓力根據(jù)壓差傳感器，潔凈室的壓力根據(jù)壓差傳感器的數(shù)值來控制，它將測量潔凈室和外界大氣的壓差。PLC使用壓差傳感器的值作為PID的過程值，它的輸出將控制新風(fēng)管道上的變風(fēng)量控制器的開度。PLC同時計算在主新風(fēng)管道上的壓差傳感器平均值，并用平均值作為PID的過程值，它的輸出將控制新風(fēng)機組的風(fēng)機速度，以達到潔凈室內(nèi)的正壓要求。

4、溫濕度控制

潔凈室里的溫度是由吊頂上的干冷盤管進行調(diào)節(jié)控制的，吊頂內(nèi)共分為10個溫度控制區(qū)域，每個溫度控制區(qū)域都設(shè)有一個溫度傳感器，該區(qū)域的干冷盤管回水主管上裝有一組電動調(diào)節(jié)閥，通過溫度傳感器所測的溫度與直接數(shù)字溫控器的設(shè)定值比較，用比例積分微分控制器輸出電信號，控制回水管上電動調(diào)節(jié)閥的開度，改變水流量，使?jié)崈羰业臏囟缺３衷谒璧姆秶?/span>

潔凈室內(nèi)安裝有溫濕度傳感器，從潔凈室溫濕度傳感器傳來的溫度信號將被PLC用來監(jiān)視和報警。新風(fēng)機組送風(fēng)溫度信號作為PID控制的過程值（PV），PID輸出將用來控制再熱閥，維持新風(fēng)機組恒定的出風(fēng)溫度。新風(fēng)機組的加濕噴淋段水泵都有液位開關(guān)，當(dāng)?shù)鸵何粓缶瘯r，PLC將停止相關(guān)的泵。

二、排風(fēng)系統(tǒng)

微電子潔凈室中常常在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生各種酸性和堿性物質(zhì)、有機溶劑和一般氣體、特種氣體。且根據(jù)GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》中的規(guī)定，排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨設(shè)置。故潔凈室的工藝排風(fēng)分別設(shè)有酸性排風(fēng)系統(tǒng)、堿性排風(fēng)系統(tǒng)和溶劑排風(fēng)系統(tǒng)。

酸堿排風(fēng)氣體必須分別經(jīng)過玻璃鋼淋洗塔處理后才能排至室外。淋洗塔以化學(xué)吸收為工作原理，其中有填料增加其有效吸收面積。淋洗液由噴嘴自上而下噴灑，并可循環(huán)使用。經(jīng)過處理后的排放氣體須滿足GB16297-1996《國家廢氣排放標(biāo)準》，潔凈室內(nèi)酸堿排風(fēng)的風(fēng)管材料為不銹鋼，內(nèi)涂特氟龍，以達到防腐蝕的目的。風(fēng)機采用玻璃鋼離心變頻風(fēng)機。

溶劑排風(fēng)系統(tǒng)用于排除廠房內(nèi)設(shè)備及化學(xué)氣體等房間產(chǎn)生的溶劑氣體。其風(fēng)管材料為sus304不銹鋼，風(fēng)機采用防爆型風(fēng)機，并配有變頻器調(diào)節(jié)馬達轉(zhuǎn)速以達到調(diào)節(jié)排風(fēng)量要求。

三、排煙系統(tǒng)

潔凈室為無門窗的房間，房間密閉性較好，故設(shè)置機械排煙系統(tǒng)是保證人員安全疏散的必要方法。GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》規(guī)定：潔凈廠房疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械防排煙設(shè)施。而國家現(xiàn)行防火規(guī)范中對工業(yè)廠房的排煙設(shè)置未作出明文規(guī)定，故參考民用建筑的防排煙規(guī)范在潔凈室內(nèi)設(shè)置機械排煙系統(tǒng)。因主生產(chǎn)區(qū)面積達3000㎡，故用擋煙垂壁（吊頂以下500㎜高）將主生產(chǎn)區(qū)分隔為數(shù)個防煙分區(qū)，每個防煙分區(qū)最大面積不大于500㎡。防煙分區(qū)的排煙量設(shè)計值以每個分區(qū)60m3/h計算。排煙風(fēng)機可同時負擔(dān)兩個防煙分區(qū)，風(fēng)量選型按最大防煙分區(qū)面積每平方米120m3/h計算。防煙分區(qū)的排煙由支管上的280℃排煙閥控制。

聲明：部分素材內(nèi)容來源網(wǎng)絡(luò)僅供分享，版權(quán)歸原作者所有，如有侵權(quán)請聯(lián)系刪除。